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今天，記者從國防科技大學了解到，機電工程及自動化學院自主研發(fā)的新一代超精密光學配件加工設備已通過相關單位組織的工藝評定。結(jié)果表明，該套設備的加工精度達到了亞納米水平的重大突破，典型試件光學零件的均方根方根值達到了0.361 nm，表明我國超精密光學零件加工技術(shù)已進入[敏感詞]行列。

超精密加工技術(shù)是先進裝備制造的關鍵瓶頸技術(shù)，而納米精度被譽為超精密加工技術(shù)的“皇冠上的寶石”。過去，由于我國光學零件加工技術(shù)落后，無法加工大直徑、高精度、復雜表面形狀的光學配件，嚴重制約了相關領域的技術(shù)進步。自20世紀80年代以來，在李圣怡，教授的領導下，經(jīng)過30多年的頑強拼搏和自主創(chuàng)新，大學精密工程創(chuàng)新團隊突破了高精度機床精密運動機構(gòu)設計、高效磁流變拋光液制備、離子束穩(wěn)定控制、光學元件亞納米全波段誤差控制等核心關鍵技術(shù)。開發(fā)了一系列具有自主知識產(chǎn)權(quán)的磁流變和離子束拋光設備，打破了發(fā)達[敏感詞]對超精密加工設備的技術(shù)封鎖，使中國成為繼美和德之后掌握兩項高精密光學配件加工技術(shù)的[敏感詞]。

近年來，在[敏感詞]重大科技專項“大規(guī)模集成電路制造設備及完整工藝”和[敏感詞]自然科學基金的支持下，該大學精密工程創(chuàng)新團隊成功研制出新一代離子束拋光機床和數(shù)控光順拋光機床，小可控材料去除量為0.1 nm。相關專家指出，這一自主創(chuàng)新成果可以為“大規(guī)模集成電路制造設備及成套工藝”、“高分辨率地球觀測系統(tǒng)”等[敏感詞]重大科技項目提供強有力的技術(shù)支持和設備支持，并將直接推動相關領域的關鍵技術(shù)突破，對提高我國先進裝備制造水平具有重要意義。